Сборный словарь иностранных слов русского языка - микрофотография

1) получение снимков микроскопических предметов в увеличенном виде. 2) получение посредством фотографии таких бесконечно малых снимков, которые можно видеть только под микроскопом.

(Источник: «Словарь иностранных слов, вошедших в состав русского языка». Чудинов А.Н., 1910)

1) фотографические снимки с предметов, видимых лишь под микроскопом; 2) получение посредством фотографии микроскопических изображений, т. е. такого малого размера, что их можно хорошо видеть только под микроскопом.

(Источник: «Словарь иностранных слов, вошедших в состав русского языка». Павленков Ф., 1907)

получение снимков с предметов, видимых только под микроскопом, снимки с очень малых предметов, так что полученные изображения бывают невидимы невооруженным глазом.

(Источник: «Полный словарь иностранных слов, вошедших в употребление в русском языке». Попов М., 1907)